美因茨vs弗赖堡历史战绩:ALD-TL1200-PE 原子層氣相沉積系統

  • 技術參數
  • 詳細描述
  • 視頻展示
  • 標準配置
  • 選配件

上海美因茨印刷科技有限公司金乡分公司 www.rmgrno.com.cn  型號

ALD-TL1200-PE -I

ALD-TL1200-PE -II  

ALD-TL1200-PE -III

ALD 控制面板

1 、5路控制溫控系統,可以加熱ALD里管路和ALD容器內液體

2、2路氣體脈沖交替控制系統(交替時間、交替次數等、用單片機或PLC 控制能夠達到ms)

ALD閥門

 

1、能夠在不到 5 ms 內完成閥門開啟或關閉

2、高速執行下的超高循環壽命、在產品評估是循環次數超過了25000000次

3、耐 熱 執 行 器 、耐 溫 高 達200°C(392°F)

ALD原理

 

ALD化學氣相沉積是將不同的反應前驅物以氣體脈沖的形式交替送入反應室中并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種方法(技術)

源瓶

 

源瓶特點

1、所用管件采用316L不銹鋼,內部經400目機械拋光和電化學拋光,Ra≤0.25μm。

2、閥門采用美國世偉洛克球閥或隔膜閥。

3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。

4、氦質譜檢測泄漏率≤1.0*10mba L/s。

 

5、可盛裝化學品純度≥99.9995%。

 

6、總殘余元素量≤50PPb。

 

ALD-PECVD簡圖

 

1、 2個石英容器與ALD管路連接

2、 2個ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入

3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態進入反應區域。

4、多個球閥控制管路的通過。

5、多個旁通支路、可以通氣其他氣體或運載氣體。

 功率

3.5KW

TL1200 管式爐

 

 

  爐管尺寸

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

外形尺(LXDXH)

1300X410X610

1300X410X610

1300X410X660

電源電壓

220V

相數

單相

加熱元件

進口瑞典Canthal  A1 電阻絲   點擊進入資料下

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫?;?斷偶?;す祿蚨嚇際鋇緶尤鵲緶紛遠卸?,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的?;さ緶?。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電?;すδ?,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                  

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶?;ず拖允?/p>

過溫?;?/p>

過流?;?/p>

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤20 ℃/ Min (可根據要求修改)

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K  型

加熱段長度

440mm

電器認證

 

四周表面溫度

≤45℃

射頻電源

(等離子體發生器)

功率輸出范圍

  0-500W

最大反射功率

200W

工作頻率

射頻:13.56MHZ±0.005%

功率穩定度

 +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區域寬度

0-600mm 可調

匹配方式

 自動

冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供氣系統主要參數

 

 

質量流量計

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統

 

方案一或方案二任選一個

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵 

 

方案一

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

 

Preiffer ACP15無油多級羅茨泵

方案二

型號

ACP15

電源

 AC100-240   50/60HZ

功率

450W

重量

25KG

最高氦氣漏率

5 · 10-8 Pa m3/s 

抽氣速率

14  m3/h

極限壓強

0.02Torr

進、排氣接口

KF25

電阻真空計

 

(方案一)

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 5 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷電容真空計

(方案二)

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

 

(方案一或方案二任選一個)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

 

(方案一)

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100pa

分子泵前級真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級泵)

(方案二) 

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

 

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

德國Pfeiffer真空泵

(方案二) 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 5 Pa

 

 

 ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統由滑動管式爐、石英真空室、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統和ALD系統組成。

 

    這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,過零觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。  

開蓋?;は低常焊寐滄壩行諧炭?,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                  

           

        Kanthal A1 原絲          國產電阻絲爐膛                      進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

 

 

                                                                                    

大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲       Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小                   溫場效果好                 

 

2、安裝有空氣開關和漏電?;て鰨?/span>

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、認證

     

 

7、法蘭

                          

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)          水冷法蘭(選購)

              

 

 

 

描敘

數量

圖片

TL1200滑動管式爐

1 臺

 

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

        

不銹鋼爐鉤

1 個

石英爐塞

1對

高溫手套

1 雙

K型熱電偶 1個

COM轉USB接口

1 套

說明書

1本

 

法蘭支撐架

1 份

                                            

供氣系統

 

  1臺
VS-0.1抽氣系統 1臺
射頻電源 1臺
卡套 4個
波紋管 1支
真空擋板閥 1個
鋼瓶接頭(N代表路數) N個
閥門接頭 2

 

 



在線客服
  • 售后服務售后服務
  • 產品咨詢產品咨詢
  • 產品咨詢產品咨詢
咨詢電話
  • 4008-051-061
只有專注  才能專業
銷售熱線: 4008-051-061
              025-83111681
              025-83693678
              13913006686
              15190487889
售后電話: 15850763891
技術支持: 13611581149
公司傳真: 025-83111571
“掃碼加關注有優惠哦”