多特蒙德vs美因茨比分预测:VTL1200-PECVD 立式单温区PECVD系统

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上海美因茨印刷科技有限公司金乡分公司 www.rmgrno.com.cn 详细技术参数

VTL1200 立式管式炉

 

 

 

型号

VTL1200-PECVD-I  

VTL1200-PECVD-II  

VTL1200-PECVD-III

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

  炉管尺寸

Dia 60(OD) X1200mm

Dia 80(OD) X1200mm

Dia 100(OD) X1200mm

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

              进口瑞典Canthal  A1 电阻丝    点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温?;?断偶?;す禄蚨吓际钡缏尤鹊缏纷远卸?,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的?;さ缏?。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电?;すδ?,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                 

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

         控温模式

智能PID

       断偶?;ず拖允?/p>

          过温?;?/p>

            过流?;?/p>

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

200mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

炉塞、材料放置

炉塞、材料放置图片

射频电源

(等离子体发生器)

 

功率输出范围

  0-500W

 

 

 

 

 

最大反射功率 

200W

工作频率

射频:13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

  +/-0.1%

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式

 自动

 冷却方式

 分冷

 噪声

 <50dB

射频接口

 50Ω   N-type

输入电源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

 

 

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵 

(方案一)

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

方案二

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷电容真空计

  (方案二)

 

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa

分子泵前级真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

质保期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

VTL1200-PECVD系统,由VTL1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

 主要特点:

     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

     5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

 

  这款VTL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                

           

        Kanthal A1 原丝                  国产电阻丝炉膛          VS         进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

                                                                                             

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝          Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                      温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电?;て鳎?/span>

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、认证

     

 

7、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                  

8、全图

 

VTL1200-PECVD系统标配

描叙

数量

图片

VTL1200管式炉

1 套

 

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

        

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1 个

K型热电偶 1 个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

 

供气系统

1台
VS-0.1抽气系统 1台
射频电源 1台

卡套 4个
波纹管 1支
真空挡板阀 1个
钢瓶接头(N代表路数) N个
阀门接头 2个
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5

 

 



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