汉堡对美因茨05:TL1200-S-C 预加热滑竿式CVD系统

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上海美因茨印刷科技有限公司金乡分公司 www.rmgrno.com.cn 此款CVD系统前端配有可加热到1000℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计供气系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于生长MoS2等二维材料非常实用,重复性好。

TL1200 管式炉

 

 

型号

TL1200-C-I  

TL1200- C-II  

 TL1200-C-III

TL1200-C-IV

预加热器

额定温度:800℃

最高温度:1000℃

最快升温速率:≤30℃/min

推荐升温速率:≤15℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:1.2KW

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

炉管

 石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可?。?/p>

两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

 

 外形尺(LXDXH)

580X370X540

580X420X590

580X420X590

580X440X610

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

进口瑞典Canthal  A1 电阻丝   点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温?;?断偶?;す禄蚨吓际钡缏尤鹊缏纷远卸?,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时。

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的?;さ缏?。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电?;すδ?,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                        

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶?;ず拖允?/p>

过温?;?/p>

过流?;?/p>

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

440mm

电器认证

四周表面温度

≤45 ℃

阀门和法兰

 

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

VRD-8真空泵 

(方案一)

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

 

(方案二)

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计

(方案二)

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

 保修期  

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

             2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) 

这套CVD系统带有预热系统,由预热系统+供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度加热区间可以是单温区,极限真空可以达到10-1Pa,供气系统是流量调节可以是4路质子流量计,

 

 

这款管式炉以进口电阻丝瑞典(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

康泰尔电阻丝资料下载

 

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                                    

           

        Kanthal A1 原丝                        国产电阻丝炉膛                             VS                            进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

 

 

                                                                                                                                      

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝                     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                                          温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电?;て鳎?/span>

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

     

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、不锈钢支撑架

       

 

7、认证

     

 

8、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                                

 

 

TL1200-CVD系统标配

 

描叙

数量

图片

TL1200管式炉

1 套

                     

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

 

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 对

                                            

供气系统

 

1台
VS-0.1抽气系统 1台
卡套 4个                         
波纹管 1支                          
真空挡板阀 1个                     
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

 



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